株式会社ニチビは、水溶性繊維 ソルブロン、耐熱性繊維(アルミナ長繊維)ニチビアルフ、イオン交換繊維など、各種機能性繊維の製造・販売を行っております。
・ ヒーター線にセラミックフェルト、セラミック繊維編組による二重絶縁構造電線を採用し、安全性が高く長寿命です。
・ フッ素樹脂シートを外装材に採用し、パーティクルが発生しにくい構造です。
・ ヒーター線の配線幅を5mmピッチまで狭めることで、均一加熱が可能です。
・ ラバーヒーターと比較して、放射が少なく省エネルギーです。
・ 空焼きした製品を出荷するため、装着後のガス発生が殆どありません。
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・ インライン、排気および付随配管(TEOS、ジクロルシラン、BCI3、ナイトライド)
・ CVD装置本体の保温
・ プラズマエッチング装置
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ソルブロン®
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品種物性表
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ソルブロン基布
ニチビアルフ®
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品種表
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物性表
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断熱リング
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アルミナ長繊維フェルト
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アルミナチョップドファイバー
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アルミナ長繊維ニット
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半導体用ジャケットヒーター
イオン交換繊維
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品種表