CVD炉用断熱材、断熱リング、拡散炉

・断熱リングは半導体製造工程で使用される拡散炉、CVD装置などの高温断熱材として開発された製品です。
・断熱リングは炉内に装填する石英チューブおよび炭化ケイ素チューブの形状に合わせ、加工することが出来ます。
・従来使用している石英ウールやシリカ製断熱材と比較して耐熱性が高く、石英チューブと反応しにくい性質があります。

また、断熱材としては従来品と比較して寿命が長くなるため、その結果断熱材の交換頻度および廃棄物を低減させることが可能となります。

断熱リングに対して不純物濃度を減少させたグレードの要求が高まり、外被材、内部充填材および縫糸に低不純物材料を使用した製品を開発し、従来品グレードと平行してお客様のご要望に応じて選択して頂くことが可能です。

	低不純物タイプ	通常タイプ
外被材	ニチビアルミナクロスHG-3025-T	ニチビアルミナクロス3025-T
内部断熱材	UHPブランケット HPボード HPボード硬化品	イソウールブランケットイソウールボードイソウールボード硬化品
縫　糸	ニチビアルミナ縫糸HG-T-5760D	ニチビアルミナ縫糸T-5760D
しばり紐	ニチビアルミナスリーブHG-SV-4	ニチビアルミナスリーブSV-4

半導体拡散炉用断熱材料は、当社と有明マテリアル（株）で共同で開発を進めてまいりました。平行して出願した特許が成立し、2001年1月より製品の販売を開始しております。

ホウ素成分を含まないアルミナ長繊維クロスを外被材とし、内部充填材としてセラミック繊維弾性体および落雁状のセラミック成形体で構成される断熱リングおよびこの断熱リングに取手を装着したものが特許製品です。

特許番号は下記の通りです。

(1)2939791
(2)2984985

断熱リングは、お客様の図面に基づいて製造致します。従って標準品はありません。
外被材、内部充填材材質および密度の指定についてもご相談に応じます。

・全ての断熱リングは焼成したものを出荷致します。

・複雑な形状については詳細な図面を提出願います。

株式会社ニチビは、水溶性繊維 ソルブロン、耐熱性繊維（アルミナ長繊維）ニチビアルフ、イオン交換繊維など、各種機能性繊維の製造・販売を行っております。